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热质量流量计基于加热表面到流动流体的对流热传递来测量气体质量的流量。基本热质量流量计的组件包括两个温度传感器，它们之间有一个电加热器。加热器可以伸入流体流中，也可以在管道外部。
过去，质量流量通常是根据体积流量计和密度计的输出来计算的。密度可以直接测量，也可以使用过程温度和压力变送器的输出来计算。
这些质量流量测量不是很准确，因为过程压力或温度与密度之间的关系并不总是很精确-每个传感器都会在整体测量误差中加上自己的独立误差，并且这种计算的响应速度通常不大足以检测流量的阶跃变化。
质量流量计的运行方式是将已知量的热量引入流中并测量相关的温度变化，或者将探头保持在恒定温度并测量所需的能量。
如果热流量计在恒定温差模式下运行，则可提供较高的量程比(10：1至100：1)。或者，如果热量输入是恒定的，则检测非常小的温差的能力将受到限制，并且精度和量程比都会下降。在正常流量下，测量误差通常在满量程的1-2%范围内。
高精度超声波流量计水表
热质量流量计通常用于监视或控制与质量有关的过程，例如取决于未反应成分的相对质量的化学反应，例如配方，材料平衡确定以及开票和保管转移操作。由于这些是加工厂中最关键的流量测量，因此质量流量测量的可靠性和准确性非常重要。
热质量流量计通常用于监视或控制与质量有关的过程，例如取决于未反应成分的相对质量的化学反应。在检测可压缩蒸气和气体的质量流量时，测量不受压力和/或温度变化的影响。热质量流量计的功能之一是精确测量低气体流速或低气体流速(每分钟25英尺以下)，远低于任何其他设备所能检测到的水平。
如果热流量计在恒温差模式下运行，则可提供较高的量程比(10：1至100：1)。另一方面，如果热量输入是恒定的，则检测非常小的温差的能力将受到限制，并且精度和量程比都会下降。在正常流量下，测量误差通常在满量程的1-2%范围内。
该传感器可用于高压和高温设计，以及特殊材料，包括玻璃，蒙乃尔合金和PFA。流通式设计用于测量纯净物质的小流量(如果是纯净气体，则热容量恒定)，而旁路和探针式设计则可以检测管道，火炬烟囱和干燥器中的大流量。
热质量流量计最常用于调节低气流。它们的运行方式是将已知量的热量引入流动的流中并测量相关的温度变化，或者将探头保持在恒定温度下并测量这样做所需的能量。基本热质量流量计的组件包括两个温度传感器和一个位于它们之间的电加热器。加热器可以伸入流体流中，也可以在管道外部。
维持温度差所需的功率与质量流量成正比。根据测得的温度差(T1-T2)，仪表系数(k)，电热率(q)和流体的比热(Cp)计算质量流量(m)。这是公式：
M = Kq /(Cp(T1-T2))
